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스퍼터 공정을 이용한 SiZnSnO 산화물 반도체 박막 트랜지스터의 증착 온도에 따른 특성

고경민 이상렬 Ko, Kyung-Min Lee, Sang Yeol 2014년

활용도
공유도
영향력

연구자정보

- 저자 Lee, Sang Yeol
- 발표논문(8)
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공동연구자(10)
- Ko, Kyung-Min 3건
- Han, Sangmin 2건
- 이상렬 2건
- Choi, Jun Young 1건
- Choi, Jun Young 1건
- Kim, Hong-Bae 1건
- Lee, Seung-Min 1건
- 고경민 1건
- 김홍배 1건
- 이승민 1건
유사연구자 (20)※활용도순 상위 20명

공동연구/유사연구

'Lee, Sang Yeol'의 연구자 점유율

논문점유율 요약
동일주제 총논문수	주제별 연구자 총논문수	연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
1,710	39	22.4%

연구자 점유율
주제		주제별 논문수	주제별 연구자논문수	주제별 연구자점유율
주제어	$n_2$	1	1	100.0%
	amorphous structure	3	3	100.0%
	prolong annealing treatment	1	1	100.0%
	totalinterfacialtrapstate	1	1	100.0%
	wet annealing	1	1	100.0%
	szto tft	2	1	50.0%
	amorphous oxide semiconductor	3	1	33.3%
	source and drain electrode	3	1	33.3%
	sputteringpower	3	1	33.3%
	thin film transistor (tft)	5	1	20.0%
	wet	5	1	20.0%
	ag thickness	6	1	16.7%
	rf magnetron sputtering	58	4	6.9%
	transistor	15	1	6.7%
	a-igzo	17	1	5.9%
	oxide tft	24	1	4.2%
	azo	25	1	4.0%
	oxygen vacancy	25	1	4.0%
	transparent conductive oxide	26	1	3.8%
	zto	28	1	3.6%
	oxide	30	1	3.3%
	contact resistance	33	1	3.0%
	thin film transistor	37	1	2.7%
	vacuum	44	1	2.3%
	roughness	46	1	2.2%
	solution process	56	1	1.8%
	afm	58	1	1.7%
	igzo	62	1	1.6%
	activation energy	67	1	1.5%
	annealing	74	1	1.4%
	xps	94	1	1.1%
	xrd	152	1	0.7%
	zno	231	1	0.4%
	stability	474	1	0.2%
계		1,710	39
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수			0

연구주제 Time-line

'Lee, Sang Yeol'의 발표논문(8)

스퍼터 공정을 이용한 SiZnSnO 산화물 반도체 박막 트랜지스터의 증착 온도에 따른 특성
Ko, Kyung-Min 이상렬 고경민 Lee, Sang Yeol 한국전기전자재료학회 [2014]
"IGZO, ZnO, AZO OMO 구조의 Ag두께 변화에 따른 투과율과 에너지 밴드 갭의 변화"
Kim, Hong-Bae 이승민 이상렬 김홍배 Lee, Seung-Min Lee, Sang Yeol 한국전기전자재료학회 [2015]
Effect of Sputtering Power on the Change of Total Interfacial Trap States of SiZnSnO Thin Film Transistor
Ko, Kyung-Min Lee, Sang Yeol 한국전기전자재료학회 [2014]
Influence of Wet Annealing on the Performance of SiZnSnO Thin Film Transistors
Han, Sangmin Lee, Sang Yeol 한국전기전자재료학회 [2015]
The Influence of Silicon Doping on Electrical Characteristics of Solution Processed Silicon Zinc Tin Oxide Thin Film Transistor
Choi, Jun Young Lee, Sang Yeol 한국전기전자재료학회 [2015]
Performance of Solution Processed Zn-Sn-O Thin-film Transistors Depending on Annealing Conditions
Choi, Jun Young Lee, Sang Yeol Han, Sangmin 한국전기전자재료학회 [2015]
Effect of Annealing Time on Electrical Performance of SiZnSnO Thin Film Transistor Fabricated by RF Magnetron Sputtering
Ko, Kyung-Min Lee, Sang Yeol 한국전기전자재료학회 [2015]
Investigation on Contact Resistance of Amorphous Indium Gallium Zinc Oxide Thin Film Transistors with Various Electrodes by Transmission Line Method
Lee, Sang Yeol 한국전기전자재료학회 [2015]