논문상세정보
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- 저자 고경민 이상렬 Ko, Kyung-Min Lee, Sang Yeol
- 제어번호 101054090
- 학술지명 전기전자재료학회논문지
- 권호사항 Vol. 27 No. 5 [ 2014 ]
- 발행처 한국전기전자재료학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 282-285
- 언어 Korean
- 출판년도 2014
- 등재정보 KCI등재
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- 주제어 Amorphous structure Oxygen vacancy RF magnetron sputtering stability Transistor
