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박선준

연구자정보

- 저자 박선준
- 발표논문( 1)
공동연구자( 0)
유사연구자 ( 20)※활용도순 상위 20명

연구자관계도

'박선준'의 연구자 점유율

논문점유율 요약
동일주제 총논문수	주제별 연구자 총논문수	연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
322	6	5.0%

연구자 점유율
주제		주제별 논문수	주제별 연구자논문수	주제별 연구자점유율
주제어	multi sensor	8	1	12.5%
	ae	10	1	10.0%
	current	22	1	4.5%
	cmp	29	1	3.4%
	friction	73	1	1.4%
	monitoring	180	1	0.6%
계		322	6
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수			0

'박선준'의 발표논문(1)

박사

다중 센서를 이용한 CMP 공정 모니터링에 관한 연구 = A study on CMP process monitoring using multiple sensors
박선준 부산대학교 대학원 [2015]