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김혁민
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저자
김혁민
발표논문( 1)
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※활용도순 상위 20명
Park, Young-Bae
1건
金允河
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연구자관계도
김혁민
'김혁민'의 연구자 점유율
논문점유율 요약
동일주제 총논문수
주제별 연구자 총논문수
연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
206
7
31.5%
자세히
연구자 점유율
주제
주제별 논문수
주제별 연구자논문수
주제별 연구자점유율
주제어
daimond
1
1
100.0%
lapping
1
1
100.0%
ceria
13
1
7.7%
quartz
17
1
5.9%
cleaning
28
1
3.6%
cmp
28
1
3.6%
dispersion
118
1
0.8%
계
206
7
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수
0
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'김혁민'
의 발표논문(1)
박사
Lithography 공정에서 사용되는 Blank Mask 제작을 위한 Quartz 기판의 연마 및 세정공정에 관한 연구 : Development of Abrasion and Cleaning Process of Quartz Substrate for the Fabrication of Blank Mask in Lithography Process
김혁민
한양대학교
[2015]