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Effect of Annealing Time on Electrical Performance of SiZnSnO Thin Film Transistor Fabricated by RF Magnetron Sputtering

Ko, Kyung-Min Lee, Sang Yeol 2015년

활용도
공유도
영향력

연구자정보

- 저자 Ko, Kyung-Min
- 발표논문(3)
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공동연구자(3)
유사연구자 (20)※활용도순 상위 20명

공동연구/유사연구

'Ko, Kyung-Min'의 연구자 점유율

논문점유율 요약
동일주제 총논문수	주제별 연구자 총논문수	연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
726	15	32.3%

연구자 점유율
주제		주제별 논문수	주제별 연구자논문수	주제별 연구자점유율
주제어	amorphous structure	3	3	100.0%
	prolong annealing treatment	1	1	100.0%
	totalinterfacialtrapstate	1	1	100.0%
	sputteringpower	3	1	33.3%
	transistor	15	1	6.7%
	rf magnetron sputtering	58	3	5.2%
	oxygen vacancy	25	1	4.0%
	contact resistance	33	1	3.0%
	roughness	46	1	2.2%
	activation energy	67	1	1.5%
	stability	474	1	0.2%
계		726	15
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수			0

연구주제 Time-line

'Ko, Kyung-Min'의 발표논문(3)

스퍼터 공정을 이용한 SiZnSnO 산화물 반도체 박막 트랜지스터의 증착 온도에 따른 특성
Ko, Kyung-Min 이상렬 고경민 Lee, Sang Yeol 한국전기전자재료학회 [2014]
Effect of Sputtering Power on the Change of Total Interfacial Trap States of SiZnSnO Thin Film Transistor
Ko, Kyung-Min Lee, Sang Yeol 한국전기전자재료학회 [2014]
Effect of Annealing Time on Electrical Performance of SiZnSnO Thin Film Transistor Fabricated by RF Magnetron Sputtering
Ko, Kyung-Min Lee, Sang Yeol 한국전기전자재료학회 [2015]