CF4를 적용한 3차원 반도체용 ICP 방전에서 heat, flow, eedf를 고려한 시뮬레이션

공동연구/유사연구
'Dong-Gil Kim'의 연구자 점유율
논문점유율 요약
동일주제 총논문수 주제별 연구자 총논문수 연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
697 5

11.1%
연구주제 Time-line