계면활성제가 반도체 실리콘 CMP용 슬러리의 분산안정성에 미치는 영향
'윤혜원'의 연구자 점유율
논문점유율 요약
| 동일주제 총논문수 |
주제별 연구자 총논문수 |
연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균) |
| 323 |
11 |
|
연구자 점유율
| 주제 |
주제별 논문수 |
주제별 연구자논문수 |
주제별 연구자점유율 |
| 주제분류(KDC/DDC) |
금속세공술 과정과 기본 금속 생 ...
|
240
|
1
|
|
| 주제어 |
CMP slurry
|
3
|
2
|
|
|
turbiscan
|
8
|
2
|
|
|
Dispersion stability
|
12
|
2
|
|
|
Zeta potential
|
17
|
2
|
|
|
Surfactant
|
43
|
2
|
|
| 계 |
|
323 |
11 |
|
| * 주제로 분류 되지 않은 논문건수 |
|
0 |
|
