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계면활성제가 반도체 실리콘 CMP용 슬러리의 분산안정성에 미치는 영향
윤혜원
김도연
한도형
김동완
김우병
2018년
활용도 Analysis
논문 Analysis
연구자 Analysis
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논문 Analysis
연구자 Analysis
활용도
공유도
영향력
논문상세정보
저자
윤혜원
김도연
한도형
김동완
김우병
주제어
CMP slurry
Dispersion stability
Surfactant
Zeta potential
Turbiscan
참고문헌( 0)
유사주제 논문( 78)
Surfactant 42건
Zeta potential 16건
Dispersion stability 11건
turbiscan 7건
CMP slurry 2건
인용/피인용
계면활성제가 반도체 실리콘 CMP용 슬러리의 분산안 ...
' 계면활성제가 반도체 실리콘 CMP용 슬러리의 분산안정성에 미치는 영향' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 요약
주제
CMP slurry
Dispersion stability
Surfactant
Zeta potential
turbiscan
동일주제 총논문수
논문피인용 총횟수
주제별 논문영향력의 평균
82
0
0.0%
자세히
주제별 논문영향력
논문영향력
주제
주제별 논문수
주제별 피인용횟수
주제별 논문영향력
주제어
CMP slurry
3
0
0.0%
Dispersion stability
12
0
0.0%
Surfactant
43
0
0.0%
Zeta potential
17
0
0.0%
turbiscan
8
0
0.0%
계
83
0
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* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수
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