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In-situ Synchrotron Radiation Photoemission Spectroscopy Study of Property Variation of Ta₂O5 Film during the Atomic Layer Deposition

Seung Youb Lee Cheolho Jeon Seok Hwan Kim Jouhahn Lee Hyung Joong Yun Soo Jeong Park Ki-Seok An Chong-Yun Park 2014년

활용도
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연구자정보

- 저자 Hyung Joong Yun
- 발표논문(1)
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공동연구자(7)
유사연구자 (20)※활용도순 상위 20명
- An, Jihwan 1건
- Cho, Eou Sik 1건
- Han, Jeong Hwan 2건
- Kwon, Sang Jik 1건
- 구봉준(B. Koo) 1건
- 권상직 1건
- 김성진 1건
- 김영범(Y.-B. Kim) 1건
- 김종헌(J. H. Kim) 1건
- 김준래 1건
- 김창현 1건
- 박의상 1건
- 안지환 1건
- 양휘철(H. Yang) 1건
- 이우재(Woo-Jae Lee) 1건
- 전우진 1건
- 조의식 1건
- 편정준 1건
- 한정환 3건
- 한정환 1건

공동연구/유사연구

Hyung Joong Yun

'Hyung Joong Yun'의 연구자 점유율

논문점유율 요약
동일주제 총논문수	주제별 연구자 총논문수	연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
55	3	67.2%

연구자 점유율
주제		주제별 논문수	주제별 연구자논문수	주제별 연구자점유율
주제어	in-situsynchrotronradiationph ...	1	1	100.0%
	tantalumpentoxide(ta₂o?)	1	1	100.0%
	atomic layer deposition	53	1	1.9%
계		55	3
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수			0

연구주제 Time-line

'Hyung Joong Yun'의 발표논문(1)

In-situ Synchrotron Radiation Photoemission Spectroscopy Study of Property Variation of Ta₂O5 Film during the Atomic Layer Deposition
Cheolho Jeon Soo Jeong Park Seung Youb Lee Seok Hwan Kim Ki-Seok An Jouhahn Lee Hyung Joong Yun Chong-Yun Park 한국진공학회 [2014]