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In-situ Synchrotron Radiation Photoemission Spectroscopy Study of Property Variation of Ta₂O5 Film during the Atomic Layer Deposition

Seung Youb Lee Cheolho Jeon Seok Hwan Kim Jouhahn Lee Hyung Joong Yun Soo Jeong Park Ki-Seok An Chong-Yun Park 2014년

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논문상세정보

- 저자 Seung Youb Lee Cheolho Jeon Seok Hwan Kim Jouhahn Lee Hyung Joong Yun Soo Jeong Park Ki-Seok An Chong-Yun Park
- 제어번호 99905985
- 학술지명 한국진공학회 학술발표회초록집
- 권호사항 Vol. 2014 No. 2 [ 2014 ]
- 발행처 한국진공학회
- 발행처 URL http://www.kvs.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 362-362 ( 1쪽)
- 언어 English
- 출판년도 2014
- KDC 420
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Atomic Layer Deposition In-situSynchrotronRadiationPhotoemissionSpectroscopy Tantalumpentoxide(Ta₂O?)
- 참고문헌( 0)
유사주제 논문( 52)
- atomic layer deposition 52건

인용/피인용

In-situ Synchrotron Radiation Photoemission Spe ...

' In-situ Synchrotron Radiation Photoemission Spectroscopy Study of Property Variation of Ta₂O5 Film during the Atomic Layer Deposition' 의 주제별 논문영향력

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	atomic layer deposition in-situsynchrotronradiationphotoemissionspectroscopy tantalumpentoxide(ta₂o?)
55	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 피인용횟수	주제별 논문영향력
주제어	atomic layer deposition	53	0	0.0%
	in-situsynchrotronradiationph ...	1	0	0.0%
	tantalumpentoxide(ta₂o?)	1	0	0.0%
계		55	0	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수			0