주제어 |
C₃F<
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2
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1
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Etch Profile
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2
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1
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F<
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2
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1
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O Plasma
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2
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1
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Ultra Low-k
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2
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1
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Capacitively Coupled Plasma ...
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3
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1
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Global Warming Potential(G ...
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6
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2
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Perfuluorocaron (PFC) gases
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4
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1
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global warming potential(GW ...
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4
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1
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liquid precursors
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4
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1
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plasma etch
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5
|
1
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O&
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6
|
1
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lfc
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12
|
2
|
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C<
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10
|
1
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12 &lt
|
11
|
1
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6&lt
|
16
|
1
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/SUB&gt
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294
|
1
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|
SUB&gt
|
294
|
1
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|
계 |
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679 |
20 |
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* 주제로 분류 되지 않은 논문건수 |
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0 |
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