연구동향 분석

C6F6 플라즈마를 이용한 패터닝 공정에서의 첨가 가스(Ar, O2) 에 따른 식각 연구

성다인 탁현우 김동우 염근영 2020년

논문상세정보
인용/피인용
' C6F6 플라즈마를 이용한 패터닝 공정에서의 첨가 가스(Ar, O2) 에 따른 식각 연구' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • Perfuluorocaron (PFC) gases
  • global warming potential(GWP)
  • lfc
  • liquid precursors
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
24 0

0.0%