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김두산
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발표논문
연구자정보
저자
김두산
발표논문( 2)
공동연구자( 7)
김동우
2건
성다인
2건
염근영
2건
탁현우
2건
김기현
1건
문룡
1건
장준기
1건
유사연구자 ( 20)
※활용도순 상위 20명
Hong, Sang Jeen
1건
Jihwan Lee
1건
Jiyoung Oh
1건
Junho Jung
1건
Junyoung Park
1건
Kim, Moon Ki
1건
Kyongnam Kim
1건
Lee, Eun Young
1건
Seokjun Kim
1건
Yunseok Lee
1건
김기현
1건
김동우
3건
김문기
1건
문룡
1건
성다인
2건
성다인
1건
염근영
3건
이은영
1건
장준기
1건
탁현우
3건
연구자관계도
김두산
'김두산'의 연구자 점유율
논문점유율 요약
동일주제 총논문수
주제별 연구자 총논문수
연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
667
16
25.8%
자세히
연구자 점유율
주제
주제별 논문수
주제별 연구자논문수
주제별 연구자점유율
주제어
C₃F<
2
1
50.0%
Etch Profile
2
1
50.0%
F<
2
1
50.0%
O Plasma
2
1
50.0%
Ultra Low-k
2
1
50.0%
Capacitively Coupled Plasma ...
3
1
33.3%
Global Warming Potential(G ...
6
2
33.3%
plasma etch
5
1
20.0%
O&
6
1
16.7%
C<
10
1
10.0%
12 &lt
11
1
9.1%
lfc
12
1
8.3%
6&lt
16
1
6.3%
/SUB&gt
294
1
0.3%
SUB&gt
294
1
0.3%
계
667
16
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수
0
닫기
'김두산'
의 발표논문(2)
낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구
김동우
탁현우
염근영
성다인
문룡
김두산
한국진공학회
[2020]
낮은 GWP의 C₃H₂F<SUB>6</SUB> 기반 화합물의 Ultra Low-k Dielectirc 식각 연구
김기현
탁현우
장준기
염근영
성다인
김두산
김동우
한국진공학회
[2020]