환원된 그래핀 산화물을 보호 층으로 적용한 4H-SiC 표면 거칠기 향상 연구

성민제(Min-Je Sung) 김성준(Seong-jun Kim) 김홍기(Hong-Ki Kim) 강민재(Min-Jae Kang) 이남석(Nam-suk Lee) 신훈규(Hoon-Kyu Shin) 2018년

연구자정보

공동연구/유사연구

논문점유율 요약
동일주제 총논문수	주제별 연구자 총논문수	연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
295	10	21.9%

연구자 점유율
주제		주제별 논문수	주제별 연구자논문수	주제별 연구자점유율
주제어	Ar Reshape	2	1	50.0%
	Sub-trench	2	1	50.0%
	activation annealing	2	1	50.0%
	Trench MOSFET	6	1	16.7%
	gateoxide	7	1	14.3%
	rgo	14	1	7.1%
	ion implantation	17	1	5.9%
	4h-sic	54	2	3.7%
	Surface roughness	191	1	0.5%
계		295	10
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수			0