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4H-SiC Trench MOSFET 응용을 위한 Ar Reshape 공정 최적화
성민제(Min-Je Sung)
강민재(Min-Jae Kang)
김홍기(Hong-Ki Kim)
김성준(Seong-jun Kim)
이정윤(Jung-Yoon Lee)
이원범(Wonbeom Lee)
이남석(Nam-suk Lee)
신훈규(Hoon-Kyu Shin)
2018년
활용도 Analysis
논문 Analysis
연구자 Analysis
활용도 Analysis
논문 Analysis
연구자 Analysis
활용도
공유도
영향력
논문상세정보
저자
성민제(Min-Je Sung)
강민재(Min-Jae Kang)
김홍기(Hong-Ki Kim)
김성준(Seong-jun Kim)
이정윤(Jung-Yoon Lee)
이원범(Wonbeom Lee)
이남석(Nam-suk Lee)
신훈규(Hoon-Kyu Shin)
주제어
4H-SiC
Ar Reshape
Sub-trench
Trench MOSFET
GateOxide
참고문헌( 0)
유사주제 논문( 66)
4h-sic 53건
gateoxide 6건
Trench MOSFET 5건
Ar Reshape 1건
Sub-trench 1건
인용/피인용
4H-SiC Trench MOSFET 응용을 위한 Ar Reshap ...
' 4H-SiC Trench MOSFET 응용을 위한 Ar Reshape 공정 최적화' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 요약
주제
4h-sic
Ar Reshape
Sub-trench
Trench MOSFET
gateoxide
동일주제 총논문수
논문피인용 총횟수
주제별 논문영향력의 평균
71
0
0.0%
자세히
주제별 논문영향력
논문영향력
주제
주제별 논문수
주제별 피인용횟수
주제별 논문영향력
주제어
4h-sic
54
0
0.0%
Ar Reshape
2
0
0.0%
Sub-trench
2
0
0.0%
Trench MOSFET
6
0
0.0%
gateoxide
7
0
0.0%
계
71
0
0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수
0
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