환원된 그래핀 산화물을 보호 층으로 적용한 4H-SiC 표면 거칠기 향상 연구

성민제(Min-Je Sung) 김성준(Seong-jun Kim) 김홍기(Hong-Ki Kim) 강민재(Min-Jae Kang) 이남석(Nam-suk Lee) 신훈규(Hoon-Kyu Shin) 2018년

논문상세정보

인용/피인용

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	4h-sic Surface roughness activation annealing ion implantation rgo
278	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 논문영향력
주제어	4h-sic	54	0.0%
	Surface roughness	191	0.0%
	activation annealing	2	0.0%
	ion implantation	17	0.0%
	rgo	14	0.0%
계		278	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수