주제분류(KDC/DDC) |
결정학
|
263
|
2
|
|
주제어 |
$Cl_2/Ar$ and $SF_6/Ar$
|
1
|
1
|
|
Ag-grid transparent conductiv ...
|
1
|
1
|
|
GaN etching
|
1
|
1
|
|
High density plasma etching
|
1
|
1
|
|
Inductively coupled plasma
|
2
|
1
|
|
Optical transmittance
|
7
|
1
|
|
lift-off
|
8
|
1
|
|
etchrate
|
9
|
1
|
|
sheet resistance
|
35
|
1
|
|
Anisotropy
|
43
|
1
|
|
계 |
|
371 |
12 |
|
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수 |
|
0 |
|