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신동혁
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연구자정보
저자
신동혁
발표논문( 1)
공동연구자( 0)
유사연구자 ( 20)
※활용도순 상위 20명
Bo-Eun Park
1건
Hwang, Kwang-Taek
1건
Kim, Han-Sang
1건
Kim, Sung-Jin
1건
Lee, Seung-Mo
1건
권대선
1건
김대한
1건
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1건
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1건
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1건
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1건
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1건
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1건
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1건
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1건
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1건
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1건
허진목
1건
황광택
1건
연구자관계도
신동혁
'신동혁'의 연구자 점유율
논문점유율 요약
동일주제 총논문수
주제별 연구자 총논문수
연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
176
20
52.4%
자세히
연구자 점유율
주제
주제별 논문수
주제별 연구자논문수
주제별 연구자점유율
주제어
Monoxide
1
1
100.0%
게르마늄 산화막
1
1
100.0%
규소 산화막
1
1
100.0%
열적 해리
1
1
100.0%
원자층 증착 기법
1
1
100.0%
일산화 산화막
1
1
100.0%
타이타늄 산화막
1
1
100.0%
플라즈마 원자층 증착 기법
1
1
100.0%
ALD window
2
1
50.0%
Germanium oxide
2
1
50.0%
식각 선택비
2
1
50.0%
etch selectivity
3
1
33.3%
plasma-enhanced atomic layer ...
3
1
33.3%
화학적 흡착
3
1
33.3%
Chemisorption
7
1
14.3%
Silicon oxide
9
1
11.1%
titanium oxide
17
1
5.9%
Thermal decomposition
19
1
5.3%
Activation energy
33
1
3.0%
Atomic layer deposition
68
1
1.5%
계
176
20
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수
0
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'신동혁'
의 발표논문(1)
Study on growth mechanism and film properties of thin film dielectrics (SiO2, TiO2 and GeO2) by low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition for applications of semiconductor devices
신동혁
Graduate School, Yonsei University
[2022]