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Precise Contour Motion of XY Stage Driven by Ultrasonic Linear Motors in a High Vacuum Environment
이동진
이선규
김완수
2016년
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이동진
이선규
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저자
이동진
발표논문(1)
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'이동진'
의 발표논문(1)
Precise Contour Motion of XY Stage Driven by Ultrasonic Linear Motors in a High Vacuum Environment
김완수
이선규
이동진
한국정밀공학회
[2016]