Precise Contour Motion of XY Stage Driven by Ultrasonic Linear Motors in a High Vacuum Environment
-
-
저자
이동진
이선규
김완수
-
제어번호
103559214
-
학술지명
International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
-
권호사항
Vol.
17
No.
3
[
2016
]
-
발행처
한국정밀공학회
-
자료유형
학술저널
-
수록면
293-301
-
언어
English
-
출판년도
2016
-
등재정보
KCI등재
-
소장기관
영남대학교 과학도서관
-
판매처