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Atomic layer deposited ZrxAl1-xOy film as high κ gate insulator for high performance ZnSnO thin film transistor
Jun Li
You-Hang Zhou
De-Yao Zhong
Chuanxin Huang
Jian Huang
Jianhua Zhang
2018년
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Jun Li
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Jun Li
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'Jun Li'
의 발표논문(1)
Atomic layer deposited ZrxAl1-xOy film as high κ gate insulator for high performance ZnSnO thin film transistor
Chuanxin Huang
You-Hang Zhou
Jun Li
Jianhua Zhang
Jian Huang
De-Yao Zhong
대한금속ㆍ재료학회
[2018]
