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플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN_x 박막의 전기 전도도 조절

류성연 최병준 Ryu, Sung Yeon Choi, Byung Joon 2018년

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연구자정보

- 저자 류성연
- 발표논문(2)
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유사연구자 (20)※활용도순 상위 20명

공동연구/유사연구

'류성연'의 연구자 점유율

논문점유율 요약
동일주제 총논문수	주제별 연구자 총논문수	연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
864	7	30.6%

연구자 점유율
주제		주제별 논문수	주제별 연구자논문수	주제별 연구자점유율
주제분류(KDC/DDC)	기술과 연합작용	728	2	0.3%
주제어	$TaN_x$ film	1	1	100.0%
	reactive gas	2	1	50.0%
	chemical bonding	5	1	20.0%
	plasma enhanced atomic layer ...	8	1	12.5%
	electrical conductivity	120	1	0.8%
계		864	7
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수			0

연구주제 Time-line

'류성연'의 발표논문(2)

플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN<sub>x</sub> 박막의 전기 전도도 조절
Choi, Byung Joon 최병준 류성연 Ryu, Sung Yeon 한국재료학회 [2018]
절연성 TaN<sub>x</sub> 박막의 전기전도 기구
Choi, Byung Joon 최병준 류성연 Ryu, Sung Yeon 한국재료학회 [2017]