반도체 구리 배선공정에서 표면 전처리가 이후 구리 전해/무전해 전착 박막에 미치는 영향
'임태호'의 연구자 점유율
논문점유율 요약
동일주제 총논문수 |
주제별 연구자 총논문수 |
연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균) |
2,293 |
12 |
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연구자 점유율
주제 |
주제별 논문수 |
주제별 연구자논문수 |
주제별 연구자점유율 |
주제분류(KDC/DDC) |
물리화학과 이론화학
|
195
|
1
|
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화학공학과 관련공학
|
1,345
|
1
|
|
주제어 |
Electroless
|
5
|
2
|
|
Oxide
|
10
|
1
|
|
boron
|
35
|
1
|
|
Tungsten
|
49
|
1
|
|
cobalt
|
71
|
1
|
|
cu
|
71
|
1
|
|
electrodeposition
|
89
|
1
|
|
pre-treatment
|
120
|
1
|
|
hardness
|
303
|
1
|
|
계 |
|
2,293 |
12 |
|
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수 |
|
0 |
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