자성박막 소자 에칭용 전자 사이클로트론 공명 이온밀링 시스템 제작과 특성연구

이원형(Won-Hyung Lee) 황도근(Do Guwn Hwang) 이상석(Sang-Suk Lee) 이장로(Jang-Roh Rhee) 2015년

연구자정보

공동연구/유사연구

논문점유율 요약
동일주제 총논문수	주제별 연구자 총논문수	연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
390	23	58.0%

연구자 점유율
주제		주제별 논문수	주제별 연구자논문수	주제별 연구자점유율
주제분류(KDC/DDC)	자기	192	1	0.5%
주제어	easymagneticdomain(emd)	1	1	100.0%
	electroncyclotronresonance(ec ...	2	2	100.0%
	exchangebiascouplingfield	1	1	100.0%
	ionmilling	2	2	100.0%
	lithographyprocess	1	1	100.0%
	magneticthinfilm	1	1	100.0%
	리소그래피 공정	1	1	100.0%
	용이 자구영역(emd)	1	1	100.0%
	전자 사이클로트론 공명(ecr)	1	1	100.0%
	전자사이크로트론 공명(ecr)	1	1	100.0%
	이온 밀링	3	2	66.7%
	교환결합세기	2	1	50.0%
	자성박막	2	1	50.0%
	홀	6	1	16.7%
	보자력	10	1	10.0%
	hole	11	1	9.1%
	마이크로파	29	1	3.4%
	coercivity	33	1	3.0%
	microwave	90	1	1.1%
계		390	23
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수			0