논문상세정보
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- 저자 이원형(Won-Hyung Lee) 황도근(Do Guwn Hwang) 이상석(Sang-Suk Lee) 이장로(Jang-Roh Rhee)
- 제어번호 101195948
- 학술지명 韓國磁氣學會誌
- 권호사항 Vol. 25 No. 5 [ 2015 ]
- 발행처 한국자기학회
- 발행처 URL https://www.magnetics.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 149-155 ( 7쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2015
- KDC 428
- 등재정보 KCI등재
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Electroncyclotronresonance(ECR) ionmilling lithographyprocess magneticthinfilm microwave 리소그래피 공정 마이크로파 이온 밀링 자성박막 전자 사이클로트론 공명(ECR)
