스퍼터링 질화탄소 박막의 트라이볼로지 및 전기적 특성의 기판 온도 영향

공동연구/유사연구
'Park, Chan Il'의 연구자 점유율
논문점유율 요약
동일주제 총논문수 주제별 연구자 총논문수 연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
5,051 6

34.3%
연구주제 Time-line