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인기 연구 키워드 :
인기 활용 키워드 :
가스 유량 변화에 따른 식각 공정 결과: VI Probe 활용 가능성 제안
송완수
홍상진
Song, Wan Soo
Hong, Sang Jeen
2021년
활용도 Analysis
논문 Analysis
연구자 Analysis
활용도 Analysis
논문 Analysis
연구자 Analysis
송완수
홍상진
Song, Wan Soo
Hong, Sang Jeen
연구자명
연구자명
연구자명
활용도
공유도
영향력
연구자정보
저자
Song, Wan Soo
발표논문(1)
발표논문 보기→
공동연구자(3)
Hong, Sang Jeen
1건
송완수
1건
홍상진
1건
유사연구자 (20)
※활용도순 상위 20명
Choi, Sang-Dong
1건
Joung, Yeun-Ho
1건
Seo, Hwa-Il
1건
Wang, Hyun-Chul
1건
권오형
1건
김선재
1건
김정래(Joung-Rae Kim)
1건
김호성
1건
서화일
1건
신응선 ( Shin Eung Sun )
1건
왕현철
1건
윤여항 ( Yoon Yeoh Hang )
1건
이나연
1건
이상직(Sang-Jik Lee)
1건
이성훈 ( Lee Seonghoon )
1건
이정민(Jeongmin Lee)
1건
정연호
1건
정진욱
1건
최국진 ( Kook-jin Choi )
2건
최상동
1건
공동연구/유사연구
Song, Wan Soo
'Song, Wan Soo'의 연구자 점유율
논문점유율 요약
동일주제 총논문수
주제별 연구자 총논문수
연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
431
5
28.2%
자세히
연구자 점유율
주제
주제별 논문수
주제별 연구자논문수
주제별 연구자점유율
주제분류(KDC/DDC)
응용 물리
332
1
0.3%
주제어
Chamber Status
1
1
100.0%
VI Probe
3
1
33.3%
mass-production
15
1
6.7%
impedance
80
1
1.3%
계
431
5
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수
0
닫기
연구주제 Time-line
'Song, Wan Soo'
의 발표논문(1)
가스 유량 변화에 따른 식각 공정 결과: VI Probe 활용 가능성 제안
Hong, Sang Jeen
홍상진
송완수
Song, Wan Soo
한국반도체디스플레이기술학회
[2021]