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가스 유량 변화에 따른 식각 공정 결과: VI Probe 활용 가능성 제안

송완수 홍상진 Song, Wan Soo Hong, Sang Jeen 2021년

활용도
공유도
영향력

논문상세정보

- 저자 송완수 홍상진 Song, Wan Soo Hong, Sang Jeen
- 제어번호 107921182
- 학술지명 반도체디스플레이기술학회지
- 권호사항 Vol. 20 No. 3 [ 2021 ]
- 발행처 한국반도체디스플레이기술학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 27-31 ( 5쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2021
- 등재정보 KCI등재
- 판매처
- 주제어 Chamber Status VI Probe Impedance Mass-Production
- 참고문헌( 0)
유사주제 논문( 426)

인용/피인용

가스 유량 변화에 따른 식각 공정 결과: VI Probe 활 ...

' 가스 유량 변화에 따른 식각 공정 결과: VI Probe 활용 가능성 제안' 의 주제별 논문영향력

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	응용 물리 Chamber Status VI Probe impedance mass-production
431	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 피인용횟수	주제별 논문영향력
주제분류(KDC/DDC)	응용 물리	332	0	0.0%
주제어	Chamber Status	1	0	0.0%
	VI Probe	3	0	0.0%
	impedance	80	0	0.0%
	mass-production	15	0	0.0%
계		431	0	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수			0