The Formation of Microcrystalline SiGe Film Using a Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
'김도영'의 연구자 점유율
논문점유율 요약
동일주제 총논문수 |
주제별 연구자 총논문수 |
연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균) |
5,238 |
13 |
|
연구자 점유율
주제 |
주제별 논문수 |
주제별 연구자논문수 |
주제별 연구자점유율 |
주제분류(KDC/DDC) |
응용 물리
|
4,649
|
2
|
|
주제어 |
Germanium chloride
|
1
|
1
|
|
Silicon chloride
|
1
|
1
|
|
Silicon germanium
|
1
|
1
|
|
Optical bandgap
|
7
|
1
|
|
anodic aluminum oxide
|
9
|
1
|
|
Silane
|
19
|
1
|
|
grain growth
|
31
|
1
|
|
Sputtering
|
88
|
1
|
|
raman spectroscopy
|
101
|
1
|
|
Aluminum
|
140
|
1
|
|
thin film
|
191
|
1
|
|
계 |
|
5,238 |
13 |
|
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수 |
|
0 |
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