The Formation of Microcrystalline SiGe Film Using a Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

논문상세정보
' The Formation of Microcrystalline SiGe Film Using a Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 응용 물리
  • Germanium chloride
  • Optical bandgap
  • Silane
  • Silicon chloride
  • Silicon germanium
  • raman spectroscopy
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
4,779 0

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