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RF Magnetron Sputtering공정에 의해 IT유리에 적층시킨 Silicon Nitride 박막의 특성

손정일 김광수 Son, Jeongil Kim, Gwangsoo 2020년

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연구자정보

- 저자 Son, Jeongil
- 발표논문(1)
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공동연구/유사연구

'Son, Jeongil'의 연구자 점유율

논문점유율 요약
동일주제 총논문수	주제별 연구자 총논문수	연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
834	5	13.1%

연구자 점유율
주제		주제별 논문수	주제별 연구자논문수	주제별 연구자점유율
주제분류(KDC/DDC)	기술과 연합작용	728	1	0.1%
주제어	silicon nitride thin film	2	1	50.0%
	nano-indentation	9	1	11.1%
	transmittance	37	1	2.7%
	rf magnetron sputtering	58	1	1.7%
계		834	5
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수			0

연구주제 Time-line

'Son, Jeongil'의 발표논문(1)

RF Magnetron Sputtering공정에 의해 IT유리에 적층시킨 Silicon Nitride 박막의 특성
Kim, Gwangsoo 손정일 김광수 Son, Jeongil 한국재료학회 [2020]