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C6F6 플라즈마를 이용한 패터닝 공정에서의 첨가 가스(Ar, O2) 에 따른 식각 연구

성다인 탁현우 김동우 염근영 2020년

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연구자정보

- 저자 성다인
- 발표논문(1)
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공동연구자(3)
- 김동우 1건
- 염근영 1건
- 탁현우 1건
유사연구자 (20)※활용도순 상위 20명
- Jihwan Lee 1건
- Jiyoung Oh 1건
- Junho Jung 1건
- Junyoung Park 1건
- Kyongnam Kim 1건
- Seokjun Kim 1건
- Yunseok Lee 1건
- 김기현 1건
- 김동우 1건
- 김동우 2건
- 김두산 1건
- 김희주 1건
- 성다인 1건
- 성다인 1건
- 신예지 1건
- 염근영 2건
- 염근영 1건
- 장준기 1건
- 탁현우 2건
- 탁현우 1건

공동연구/유사연구

'성다인'의 연구자 점유율

논문점유율 요약
동일주제 총논문수	주제별 연구자 총논문수	연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
24	4	20.8%

연구자 점유율
주제		주제별 논문수	주제별 연구자논문수	주제별 연구자점유율
주제어	Perfuluorocaron (PFC) gases	4	1	25.0%
	global warming potential(GW ...	4	1	25.0%
	liquid precursors	4	1	25.0%
	lfc	12	1	8.3%
계		24	4
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수			0

연구주제 Time-line

'성다인'의 발표논문(1)

C6F6 플라즈마를 이용한 패터닝 공정에서의 첨가 가스(Ar, O2) 에 따른 식각 연구
김동우 탁현우 염근영 성다인 한국진공학회 [2020]