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나노표면개질 용 초음파 진동자 설계 및 제작
김현세(Hyunse Kim)
임의수(Euisu Lim)
이양래(Yanglae Lee)
한국정밀공학회[2014]
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나노계면 형성을 위한 초음파 진동자 위치보정을 위한 레이저 스캐닝 기술
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