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차압식 유량계를 실장을 위한 Single Capacitive Type Differential 압력 센서 개발
Jung, Jae Pil
정재필
이대성
이경일
신규식
송상우
Song, Sangwoo
Shin, Kyu-Sik
Lee, Kyungil
Lee, Daesung
한국마이크로전자및패키징학회[2017]
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