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인라인 스퍼터용 진공 챔버의 최적 온도 분포 특성
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임남수(N.S. Yim)
최현진(H.J. Choi)
최주란(J.R. Choi)
최성대(S.D. Choi)
한국생산제조시스템학회[2014]
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진공 챔버 온도분포에 따른 ITO 증착 특성에 관한 연구
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김현제(H. J. Kim)
최주란(J.R. Choi)
최성대(S.D. Choi)
임남수(N.S. Yim)
한국정밀공학회[2014]
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진공 챔버의 온도분포에 따른 캐리어 형상 설계
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임남수(N.S. Yim)
허장욱(J. W. Hur)
최주란(J.R. Choi)
최성대(S.D. Choi)
한국기계가공학회[2014]
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