논문상세정보
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- 저자 최주란(J.R. Choi) 최성대(S.D. Choi) 최현진(H.J. Choi) 임남수(N.S. Yim)
- 제어번호 100010746
- 학술지명 한국생산제조시스템학회 학술발표대회 논문집
- 권호사항 Vol. 2014 No. 4 [ 2014 ]
- 발행처 한국생산제조학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 308-308 ( 1쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2014
- 판매처 누리미디어
- 주제어 InlineSputter Temperature Distribution Vacuumchamber
유사주제 논문( 53)
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