주제분류(KDC/DDC) |
전자공학
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2,302
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2
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주제어 |
doublepatterninglithography(d ...
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1
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1
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frequency-dependent
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1
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1
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interconnectvariation
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1
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1
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litho-etchlitho-etch(lele)
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1
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1
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multipatterning
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1
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1
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rcdelay
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1
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1
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triplepatterninglithography(t ...
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1
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1
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through-silicon via (tsv)
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3
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1
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signal integrity (si)
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4
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1
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3d ic
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5
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1
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sparameter
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11
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1
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계 |
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2,332 |
13 |
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* 주제로 분류 되지 않은 논문건수 |
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0 |
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