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이은영
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이은영
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이은영
'이은영'의 연구자 점유율
논문점유율 요약
동일주제 총논문수
주제별 연구자 총논문수
연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
101
5
62.4%
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연구자 점유율
주제
주제별 논문수
주제별 연구자논문수
주제별 연구자점유율
주제어
내부 손상
1
1
100.0%
실리콘 전극
1
1
100.0%
표면 형태
1
1
100.0%
순도
9
1
11.1%
표면 거칠기
89
1
1.1%
계
101
5
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수
0
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'이은영'
의 발표논문(1)
반도체 고밀도 플라즈마 식각장치의 상부 전극 품질 최적화 연구 = A study on the optimization of upper electrode quality for semiconductor high density plasma etching equipment
이은영
한국기술교육대학교 일반대학원
[2021]