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정진욱
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저자
정진욱
발표논문( 1)
공동연구자( 2)
권오형
1건
이나연
1건
유사연구자 ( 10)
※활용도순 상위 20명
권득철
1건
권오형
1건
권오형
1건
권오형
1건
이나연
1건
이나연
1건
이나연
1건
정상영
1건
정진욱
1건
정진욱
1건
연구자관계도
정진욱
'정진욱'의 연구자 점유율
논문점유율 요약
동일주제 총논문수
주제별 연구자 총논문수
연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
8
4
58.3%
자세히
연구자 점유율
주제
주제별 논문수
주제별 연구자논문수
주제별 연구자점유율
주제어
CF₄ 유도결합플라즈마
1
1
100.0%
VI 프로브
2
1
50.0%
플라즈마 모델링
2
1
50.0%
플라즈마 임피던스
3
1
33.3%
계
8
4
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수
0
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'정진욱'
의 발표논문(1)
CF₄ 유도결합플라즈마를 이용한 식각 장치의 바이어스 전극에서 측정 된 전기적 특성과 식각률 비교
권오형
정진욱
이나연
한국진공학회
[2020]