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전상철(Sang-Chul Jeon)

연구자정보

- 저자 전상철(Sang-Chul Jeon)
- 발표논문( 1)
공동연구자( 0)
유사연구자 ( 20)※활용도순 상위 20명
- Cho, Hyun 1건
- Ryu, Jeong Ho 1건
- 고상범 1건
- 김영식 1건
- 김현재 1건
- 김홍래 1건
- 류정호 1건
- 박진수 1건
- 박태준 1건
- 서미혜(Mi-Hye Seo) 1건
- 서정현 1건
- 안준영 1건
- 오준 1건
- 이영욱 1건
- 이재선 1건
- 전하은 1건
- 정행윤 1건
- 조현 1건
- 최진수 1건
- 홍유덕 1건

연구자관계도

전상철(Sang-Chul Jeon)

'전상철(Sang-Chul Jeon)'의 연구자 점유율

논문점유율 요약
동일주제 총논문수	주제별 연구자 총논문수	연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
507	11	60.6%

연구자 점유율
주제		주제별 논문수	주제별 연구자논문수	주제별 연구자점유율
주제분류(KDC/DDC)	금속제조 및 가공업	413	1	0.2%
주제어	Electron Beam Lithography	1	1	100.0%
	Photo Mask	1	1	100.0%
	Proximity Effect Correction	1	1	100.0%
	근접효과 보정	1	1	100.0%
	노광 마스크	1	1	100.0%
	전자선 리소그래피	1	1	100.0%
	리프트-오프	2	1	50.0%
	lift-off	8	1	12.5%
	scattering	37	1	2.7%
	산란	41	1	2.4%
계		507	11
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수			0

'전상철(Sang-Chul Jeon)'의 발표논문(1)

전자선 리소그래피 공정 최적화를 통한 100nm 이하 초미세 패턴을 포함하는 포토 마스크 제작
전상철(Sang-Chul Jeon) 산업기술교육훈련학회 [2020]