주제분류(KDC/DDC) |
기술과 연합작용
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543
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1
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주제어 |
Ru bottom electrode effect
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1
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1
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local preferential growth
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1
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1
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nucleation and growth kinetic ...
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1
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1
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top electrode capping effecft
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1
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1
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Zr doped HfO2
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2
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1
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ferroelectricity
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5
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1
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endurance
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36
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1
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atomic layer deposition
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48
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1
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계 |
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638 |
9 |
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* 주제로 분류 되지 않은 논문건수 |
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0 |
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