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RF magnetron sputtering으로 증착한 IGZO 박막의 RF power에 따른 구조적, 광학적 및 전기적 특성 연구
연제호
김홍배
2016년
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'연제호'
의 발표논문(1)
RF magnetron sputtering으로 증착한 IGZO 박막의 RF power에 따른 구조적, 광학적 및 전기적 특성 연구
김홍배
연제호
한국반도체디스플레이기술학회
[2016]