"유도결합플라즈마 공정에서 조건별 플라즈마 방출광 세기 변화에 따른 전자온도의 전기적, 광학적 진단에 관한 연구"
'이예슬'의 연구자 점유율
논문점유율 요약
동일주제 총논문수 |
주제별 연구자 총논문수 |
연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균) |
40 |
8 |
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연구자 점유율
주제 |
주제별 논문수 |
주제별 연구자논문수 |
주제별 연구자점유율 |
주제어 |
랑뮤어 프로브
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1
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1
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방출분광법
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1
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1
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전자기장 시뮬레이션
|
1
|
1
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랑뮤어 탐침
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2
|
1
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유도 결합 플라즈마
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15
|
2
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전자온도
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8
|
1
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플라즈마 진단
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12
|
1
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|
계 |
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40 |
8 |
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* 주제로 분류 되지 않은 논문건수 |
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0 |
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