인기 연구 키워드 :
인기 활용 키워드 :

Two-Facing-Targets (TFT) 스퍼터링장치를 이용하여 증착한 AlN박막의 잔류응력 측정

한창석 권용준 년

활용도
공유도
영향력

연구자정보

- 저자 한창석
- 발표논문(1)
  발표논문 보기→
공동연구자(1)
- 권용준 1건
유사연구자 (0)※활용도순 상위 20명

공동연구/유사연구

'한창석'의 연구자 점유율

논문점유율 요약
동일주제 총논문수	주제별 연구자 총논문수	연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
0	0	0.0%

연구주제 Time-line

'한창석'의 발표논문(1)

Two-Facing-Targets (TFT) 스퍼터링장치를 이용하여 증착한 AlN박막의 잔류응력 측정
권용준 한창석 한국재료학회