A Study on the Estimation of Damage by Leaking of NH₃ and Cl₂ applied to LPCVD

공동연구/유사연구
'Yong-Jeong Huh(허용정)'의 연구자 점유율
논문점유율 요약
동일주제 총논문수 주제별 연구자 총논문수 연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
174 6

32.5%
연구주제 Time-line