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반도체 공정 PFCs 가스 처리를 위한 열플라즈마 스크러버 개발

황상연(Sang Yeon Hwang) 엄성현(Sung Hyun Uhm) 차우병(Woo Byoung Cha) 2019년

활용도
공유도
영향력

연구자정보

- 저자 황상연(Sang Yeon Hwang)
- 발표논문(1)
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공동연구자(2)
- 엄성현(Sung Hyun Uhm) 1건
- 차우병(Woo Byoung Cha) 1건
유사연구자 (20)※활용도순 상위 20명
- Chang Hyun Cho(조창현) 1건
- Ji Hun Kim(김지훈) 1건
- 고주영 1건
- 고주영 1건
- 김민석 1건
- 김태희 1건
- 김태희 1건
- 김태희 1건
- 김태희 1건
- 민병일 1건
- 박동화 1건
- 엄성현(Sung Hyun Uhm) 1건
- 오정환 1건
- 이용희 1건
- 차우병(Woo Byoung Cha) 1건
- 최수석 1건
- 최수석 2건
- 최수석 1건
- 최수석 1건
- 홍승현 1건

공동연구/유사연구

황상연(Sang Yeon Hwang)

'황상연(Sang Yeon Hwang)'의 연구자 점유율

논문점유율 요약
동일주제 총논문수	주제별 연구자 총논문수	연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
21	3	51.9%

연구자 점유율
주제		주제별 논문수	주제별 연구자논문수	주제별 연구자점유율
주제어	PFCs(erfluorinated Compound ...	1	1	100.0%
	Non-CO₂ gas	2	1	50.0%
	thermal plasma	18	1	5.6%
계		21	3
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수			0

연구주제 Time-line

'황상연(Sang Yeon Hwang)'의 발표논문(1)

반도체 공정 PFCs 가스 처리를 위한 열플라즈마 스크러버 개발
엄성현(Sung Hyun Uhm) 황상연(Sang Yeon Hwang) 차우병(Woo Byoung Cha) 한국에너지기후변화학회 [2019]