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A Review of Inductively Coupled Plasma-Assisted Magnetron Sputter System
Tae Hyung Kim
Geun Young Yeom
2019년
활용도 Analysis
논문 Analysis
연구자 Analysis
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Tae Hyung Kim
Geun Young Yeom
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연구자정보
저자
Tae Hyung Kim
발표논문(1)
발표논문 보기→
공동연구자(1)
Geun Young Yeom
1건
유사연구자 (20)
※활용도순 상위 20명
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공동연구/유사연구
Tae Hyung Kim
'Tae Hyung Kim'의 연구자 점유율
논문점유율 요약
동일주제 총논문수
주제별 연구자 총논문수
연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
44
4
19.2%
자세히
연구자 점유율
주제
주제별 논문수
주제별 연구자논문수
주제별 연구자점유율
주제어
Inductively coupled plasma ma ...
2
1
50.0%
ionization
7
1
14.3%
Sputter
12
1
8.3%
Inductively-coupled plasma
23
1
4.3%
계
44
4
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수
0
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연구주제 Time-line
'Tae Hyung Kim'
의 발표논문(1)
A Review of Inductively Coupled Plasma-Assisted Magnetron Sputter System
Geun Young Yeom
Tae Hyung Kim
한국진공학회(ASCT)
[2019]