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저손상 식각 기술을 이용한 초미세 패턴의 식각 프로파일 향상에 관한 연구

김교운 오지수 김희주 홍종우 염근영 2020년

활용도
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연구자정보

- 저자 김교운
- 발표논문(1)
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공동연구자(4)
- 김희주 1건
- 염근영 1건
- 오지수 1건
- 홍종우 1건
유사연구자 (20)※활용도순 상위 20명

공동연구/유사연구

'김교운'의 연구자 점유율

논문점유율 요약
동일주제 총논문수	주제별 연구자 총논문수	연구자점유율(주제별 연구자점유율의 평균)
227	3	14.3%

연구자 점유율
주제		주제별 논문수	주제별 연구자논문수	주제별 연구자점유율
주제어	Etch	3	1	33.3%
	Lithography	10	1	10.0%
	plasma	214	1	0.5%
계		227	3
* 주제로 분류 되지 않은 논문건수			0

연구주제 Time-line

'김교운'의 발표논문(1)

저손상 식각 기술을 이용한 초미세 패턴의 식각 프로파일 향상에 관한 연구
김교운 홍종우 오지수 염근영 김희주 한국진공학회 [2020]