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블록공중합체와 비정질 탄소층을 이용한 초미세 패턴 식각에 관한 연구
김교운
오지수
염근영
2019년
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김교운
오지수
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저자
김교운
발표논문(1)
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염근영
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김교운
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'김교운'
의 발표논문(1)
블록공중합체와 비정질 탄소층을 이용한 초미세 패턴 식각에 관한 연구
김교운
오지수
염근영
한국표면공학회
[2019]