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Study on efficiency improvement of multi-crystalline silicon solar cell by removing by-product and plasma induced damage generated during reactive ion etching
박진성
김무중
민관홍
박성근
송희은
이정인
정경태
강민규
2020년
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정경태
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'정경태'
의 발표논문(1)
Study on efficiency improvement of multi-crystalline silicon solar cell by removing by-product and plasma induced damage generated during reactive ion etching
강민규
정경태
이정인
송희은
박진성
박성근
민관홍
김무중
한국물리학회
[2020]